精細化工廢水來源于工藝廢水、輔助設備廢水以及沖洗廢水。其中工藝廢水是在這3種廢水當中最難處理水，其不僅污染物濃度高（有機物、氨氮、無機鹽等），而且構成成分復雜、可生化性差、降解難度高。精細化工企業的生產原料、工藝流程、設備裝置等都非常復雜，而且精細化工廢水處理同樣很復雜。實際上精細化工生產工藝的變化以及生產需求有不同的過程，導致精細化工廢水出現變化，原有的廢水處理系統無法將其達標排放。在處理精細化工廢水處理時，生物法是處理廢水的常用處理方法，而進行處理的過程中需要結合其它廢水處理方法，將其廢水穩定達到可進入生化處理階段的范圍——物理法和化學法，將其稱為“預處理工藝"。預處理是由物理法、化學法或者物理化學法組成，根據精細化工廢水的污染物進行選擇，對于含有大量的難生物降解有機物的廢水，可以采用化學氧化法作為其主要的預處理方法。光芬頓高級氧化技術作為化學氧化法的有效手段之一，不僅克服了傳統芬頓技術Fe3+/Fe2+氧化還原速度慢、易產生鐵泥、降解能力有效等問題，而且紫外光和Fe2+協同實現了H2O2的催化分解，加快了 •OH的產生和有機污染物的高效去除，實現了高難度、復雜廢水的有效處理。